Программируемая центрифуга для нанесения покрытий YOTEC ASC-200

Программируемая центрифуга YOTEC серии ASC наносит фоторезист и другие растворы на пластины и подложки методом центрифугирования. Её используют в научных лабораториях и на участках подготовки полупроводниковых пластин, солнечных панелей, стеклянных и керамических подложек, зеркальных поверхностей. ASC-200 работает с пластинами до 8 дюймов и хранит до 100 программ по 100 шагов, что удобно при частой смене рецептур.

• Скорость и длительность задаются в каждом шаге программы, а график оборотов выводится на экран во время нанесения. По нему видно, как прошёл цикл, без отдельной регистрации.
• Двигатель бесщёточный, без износа щёток и искрения. Сервоуправление держит заданную скорость точнее, чем у младшей ASC-100, поэтому на тонких плёнках толщина слоя от цикла к циклу повторяется лучше.
• Если вакуум под подложкой не набран или крышка открыта, центрифуга не запустится. Плохо прижатая пластина не слетит с держателя на полных оборотах.
• Чаша и вакуумный держатель выполнены из HDPE одной деталью, без швов, где могли бы скапливаться остатки раствора. Корпус из нержавеющей стали.
• С перистальтическим насосом YOTEC раствор подаётся автоматически и строго отмеренной дозой. Расход реагента сокращается, а результат повторяется без участия оператора.
• Опционально: вакуумный насос, перистальтический насос, отмывка края пластины сверху и обратной стороны снизу.