Центрифуга для нанесения фоторезиста (спин-коутер) – установка, которая раскручивает подложку с каплей резиста, пока раствор не разойдется по поверхности ровным слоем, а избыток не сбросится в чашу. Толщина пленки падает обратно пропорционально корню из оборотов, а точную величину задают вязкость раствора, темп разгона и время отжима.
В разделе собраны центрифуги для фоторезиста под лабораторные и мелкосерийные задачи. ProSMD подбирает модель под ваши подложки и растворы, поставляет по России и СНГ
Основные параметры выбора:
- Удержание оборотов. Верхний предел важен реже, чем поведение привода на 300–800 об/мин: на этом шаге раствор растекается по подложке, и просадка скорости позже вылезает разбросом толщины. Сервопривод с обратной связью держит режим ровнее коллекторного двигателя.
- Разгон и шаги программы. Темп выхода на рабочую скорость формирует краевой валик и рисунок течения.
- Вакуумные патроны. Столик подбирают под подложку: 150-мм пластина, стеклянная плитка и скол 15 × 15 мм требуют разной оснастки.
- Химическая стойкость. Чаша, крышка, уплотнения и трубки работают в контакте с вашими растворителями. Ацетон, NMP и PGMEA ведут себя по-разному, и формулировка "стойкий к растворителям" в описании ничего не гарантирует. Сверяйте по конкретному списку.
- Блокировки. Срыв пластины на 5000 об/мин означает разбитый образец и чашу в резисте. Запрет пуска при открытой крышке и при падении вакуума этот риск убирает.
- Подача раствора. Пипетка дает разброс по объему и по месту попадания капли. Перистальтический насос с программой дозирования экономит резист и убирает эту переменную. Отмывка края и обратной стороны нужна там, где валик мешает контактной экспозиции или следующей операции.
Центрифугу ставят в вытяжной шкаф либо подключают к местной вытяжке: при отжиме растворитель испаряется, и пары должны уходить. Сила потока влияет и на сушку пленки, поэтому слишком мощная тяга над чашей оставляет полосы.
Чтобы купить центрифугу для нанесения фоторезиста пришлите тип и размер подложек, марку резиста и нужную толщину слоя на order@prosmd.com или позвоните в отдел продаж. Инженер подберет спин-коутер и пришлет предложение с ценой и сроком поставки.
