Автоматическая машина фиксации микрокомпонентов LRP-200
Автоматический фиксатор частиц LRP-200 с производительностью до 15 000 шт/ч, точностью позиционирования ±20 мкм и рельсовой автоматической подачей материала на вход и выход.
LRP-200 выполняет фиксацию частиц с циклом до 240 мс, что при непрерывной работе даёт теоретическую производительность до 15 тысяч операций в час (фактическая скорость зависит от размера кристалла, держателя и требований процесса).
Точность
Точность позиционирования ±20 мкм — на ступень выше базовых моделей серии. Максимальная коррекция угла кристалла — до 25°. Разрешение по осям XY — 0,5 мкм. Держатель — вафельное кольцо 6″ (152 мм) с автоматической калибровкой при смене.
Рабочая зона
Ход рабочего стола 180×80 мм. Диапазон ширины подложки 50–80 мм, длины — 80–180 мм — компактный формат под малоформатные держатели и специализированные подложки.
Автоматическая подача
Рельсовое соединение для входящих и исходящих материалов — плата подаётся и забирается автоматически, без ручной перекладки между циклами.
Опции и контроль
Контроль потери и утечки кристалла, защита от переворота и повторной фиксации. Опционально: плазменный вентилятор, импорт карты mapping (без автокоррекции угла), подключение MES.
